Wasserstoff-Standardgas

Hochreiner Wasserstoff, Wasserstoff-Standardgas, ist ein kritisches Industriegas, das sich durch einen äußerst geringen Grad an Verunreinigungen auszeichnet und speziell auf Anwendungen zugeschnitten ist, bei denen eine Verunreinigung durch andere Gase die Leistung oder Sicherheit beeinträchtigen würde. Hochreiner Wasserstoff wird hauptsächlich durch Dampfreformierung von Methan oder Elektrolyse gewonnen und nach strengen Standards raffiniert. Er ist für die Elektronikfertigung, die chemische Synthese und neue Technologien für saubere Energie unerlässlich. Die zuverlässige Versorgung mit hochreinem Wasserstoff sorgt für optimale Effizienz und Sicherheit in Prozessen von der Halbleiterfertigung bis zum Brennstoffzellenbetrieb.

Wasserstoff-Standardgas fungiert hauptsächlich als Reduktionsmittel, Trägergas oder Kraftstoff. In der Halbleiterfertigung wird es beim Glühen, beim epitaktischen Wachstum und als Formiergas (gemischt mit Stickstoff) zur Verhinderung von Oxidation verwendet. Seine hohe Wärmeleitfähigkeit und geringe Dichte machen es zu einem effizienten Kühlmedium in großen Generatoren. In Brennstoffzellen verbindet es sich elektrochemisch mit Sauerstoff zu Strom und Wasser. Bei chemischen Prozessen ist es an Hydrierungs-, Hydrocracking- und Entschwefelungsreaktionen beteiligt. Um die Reinheit vom Erzeugungs- bis zum Verwendungsort aufrechtzuerhalten, werden spezielle Lagerungs-, Handhabungs- und Reinigungstechnologien eingesetzt.

Ein führender Hersteller von fortschrittlichen Halbleiterchips für 5G-Geräte stieß während eines kritischen Temperschritts auf anhaltende Inkonsistenzen der Oxidschicht, die sich auf die Leistung und Ausbeute des Transistors auswirkten. Sie vermuteten, dass Spuren von Sauerstoff in ihrem Prozessgas die Ursache waren. Wir haben uns zusammengetan, um eine dedizierte Versorgung mit 99,9999 % hochreinem Wasserstoff bereitzustellen, der mit einem Point-{4}}of-Reiniger integriert ist, um einen Sauerstoffgehalt unter 10 ppb am Geräteeinlass zu gewährleisten. Darüber hinaus haben wir ein Echtzeit-Feuchtigkeits- und Sauerstoffüberwachungssystem implementiert. Die ultra-trockene, sauerstofffreie Umgebung, die durch unseren hochreinen Wasserstoff erzeugt wird, beseitigte das Oxidationsproblem, was zu einer 30 %igen Verbesserung der Waferausbeute für die betroffene Prozessschicht und einer verbesserten Gerätezuverlässigkeit führte. Diese Zusammenarbeit löste nicht nur einen kritischen Produktionsengpass, sondern etablierte auch einen neuen Standard für die Gasreinheit in ihrer Fabrik und demonstrierte, dass Wasserstoff-Standardgas eine direkte Voraussetzung für die hochmoderne Halbleiterfertigung ist.